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　　的水准转移头。该转移头衔接有比方正在真空下吸附电子部件的喷嘴。喷嘴的 笔直转移可使喷嘴挨近基板而且正在那里散开，从而将电子部件安置正在基板上

　　段，图1至3)中描 述的安置设置中，由梁U5)、头安置梁(16)等组成的而且可转移地支柱 头(17)的框架因为头(17)的转移而振动。即使框架正在头(17)将电子部 件安置正在基板(19)上时依然振动，则相关于基板的安置处所精度降低。对 此，曾经修制了比方打算高刚度框架或者尽恐怕众地下降头(17)的转移速 度的装备，以便不形成框架的振动。然而，正在头(17)的转移速率低时，难

　　其它，还揭示有征求被独立驱动的两个头的安置设置(比方，睹日本专 利No. 3494153 (

　　然而，当通过使一个头转移而另一个头将电子部件安置正在基板上的两个 头被零丁驱动时，框架出现振动。是以，为认识决云云的题目，比方，供应 了云云的体例，其通过检测支柱框架的基座部(2)等的振动而且予以基座 部(2)与该振动对象相反的振动来限定振动(主动限定)。

　　然而，正在此设备的情状下，由于头转移时框架振动，因而不行所有去除 头的振动。

　　思量到上述情状，须要乃至正在诸如框架的组织振动时仍能高精度地定位诸如头的转移体的部件安置设置，以及振动限定设置及其振动限定技巧。

　　遵循本发现的推行例，供应将部件安置正在基板上的部件安置设置，征求 驱动单位、框架组织、第一输出装备和抵偿装备。驱动单位征求坚持部件的 头和转移该头的驱动机构。框架组织配备有驱动单位。第一输出装备检测框 架组织的振动，而且输出第一位移音讯，该第一位移音讯为由检测到的振动 惹起的框架组织的位移音讯。抵偿装备遵循第一位移音讯抵偿通过驱动机构 转移的头的处所。

　　正在本发现的推行例中，乃至正在框架组织振动时，头的处所也遵循框架结 构的振动惹起的位移音讯来抵偿。是以，确保了头的绝对转移处所，而且可 以使得头相关于基板高精度地定位。

　　部件安置设置还征求基座部和第二输出装备。基座部支柱框架组织。第 二输出装备检测基座部的振动，而且输出第二位移音讯，该第二位移音讯为 检测到的振动惹起的基座部的位移音讯。其它，抵偿装备遵循第一位移音讯 和第二位移音讯抵偿通过驱动机构转移的头的处所。遵循本发现的推行例， 乃至正在基座部振动时，也能确保头的绝对转移处所。

　　比方，抵偿装备使驱动机构驱动，从而头的位移音讯以第一位移音讯的 量来抵消。行动采用，抵偿装备使驱动机构驱动，从而头的处所音讯以第一 位移音讯和第二位移音讯的量来抵消。

　　供应众个征求正在驱动单位中的头，驱动机构独登时转移该众个头的每一 个，而且抵偿装备遵循第一位移音讯抵偿通过驱动机构转移的众个头的每一 个的处所。由于如上所述供应众个头，因而乃至正在第二头转移而且惹起框架 本体振动而第一头将部件安置正在基板上时，也能确保头的绝对转移处所。

　　第一输出装备征求加快率传感器、发作装备、判断装备和重置装备。加 速率传感器检测框架组织振动的加快率。发作装备通过对加快率值举行积分 来出现第 一位移音讯。判断装备判断加快率传感器检测的加快率值是否等于 或者小于阀值。重置装备正在加快率值等于或者小于阈值时将第一位移音讯重 置为0。是以，正在通过对检测的加快率值举行积分而出现第一位移音讯时， 能够压迫积分时累积失误的发作。

　　遵循本发现的推行例，供应振动限定设置，用于限定由框架组织的振动 惹起的转移体的振动，该框架组织支柱该转移体和使该转移体转移的驱动机 构，该振动限定设置征求输出装备和抵偿装备。输出装备检测框架组织的振动，而且输出检测的振动惹起的框架组织的位移音讯。抵偿装备遵循框架结 构的位移音讯抵偿通过驱动机构转移的转移体的处所。

　　该框架组织支柱该转移体和使该转移体转移的驱动机构；输出由检测的振动 惹起的框架组织的位移音讯；以及遵循框架组织的位移音讯抵偿通过驱动机 构转移的转移体的处所。

　　遵循本发现的推行例，供应振动限定设置，其用于限定由框架组织的振 动惹起的转移体的振动，该框架组织支柱该转移体和使该转移体转移的驱动 机构，该振动限定设置征求输出个别和抵偿个别。输出个别检测框架组织的 振动，而且输出检测的振动惹起的框架组织的位移音讯。抵偿个别遵循框架 组织的位移音讯抵偿通过驱动机构转移的该转移体的处所。

　　如上所述，遵循本发现的推行例，乃至正在诸如框架的组织振动时，诸如 头的转移体也能够高精度地定位。

　　如附图所示，遵循下面临本发现优选推行例的周到刻画，本发现的这些 和其它的倾向、特性及益处将变得特别明明易懂。

　　图1是遵循本发现推行例的部件安置设置的主视图； 图2是个别断开的部件安置设置的平面图； 图3是部件安置设置的侧视图4是显示用于部件安置设置的遵循本发现推行例的振动限定设置的框

　　图5是显示振动限定设置操作的流程图6是显示遵循本发现另 一个推行例的振动限定设置的框图；和 图7是显示图6所示振动限定设置操作的流程图。

　　图1是遵循本发现推行例的部件安置设置1的主视图。图2是个别断开 的部件安置设置1的平面图。图3是部件安置设置1的侧视图。

　　部件安置设置1征求基板设备部40和设备部60,基板设备部40基础上设备正在部件安置设置1的核心，而且正在基板设备部40上设备有电途板9，配 置部60设备正在基板设备部40的两侧，而且设备部60上设备有部件供应设 备14。

　　部件安置设置1还征求基座部2和由基座部2支柱的框架组织20。框架 组织20征求众个竖立正在基座部2上的支柱柱4,以及桥接正在比方两个支柱柱 4之间的梁5。关于四个支柱柱4，比方设备两个梁5。不才面的刻画中，梁 5延迟的对象能够称为X轴对象，正在水准面内与X轴的对象正交的对象能够 称为Y轴对象，而且笔直对象能够称为Z轴对象。

　　框架组织20配备有驱动单位，该驱动单位征求用于从部件供应设置14 坚持电子部件13的头35 (转移体)和用于驱动头35的驱动机构30。头35 和征求正在驱动机构30中的转移构件6 (稍后刻画)都供应众个，比方分袂为 两个。由于两个头35的组织相像，因而除非须要异常体贴两个头35,不才 文刻画头35的组织等时仅给出一个头35的刻画。

　　范例地，驱动机构30征求沿Y轴对象延迟而且沿X轴对象转移的转移 构件6、正在两个端部固定正在转移构件6的上外貌上的指点体12以及正在梁5 的下外貌上沿X轴对象延迟而且指点该指点体12的转移的导轨11。导轨11 由两个头35 (和两个转移构件6)公用。然而，也可认为头35 (和两个转移 构件6)中的每一个供应导轨ll。

　　关于上述的驱动机构30的组织，转移构件6沿着梁5可正在X轴对象移 动。况且，衔接到转移构件6的头35也可沿X轴对象转移。应该留意的是， 比方，滚珠丝杠(ballscrew)驱动机构用作使该转移构件6转移的驱动体例， 如稍后所刻画。然而，本发现不限于此，而且能够采用带驱动机构、线性电 动机驱动机构或者其它驱动机构来替代。

　　范例地，头35征求吸附喷嘴8、用于坚持吸附喷嘴8的喷嘴坚持个别7 和用于支柱喷嘴坚持个别7的支柱个别18。支柱个别18衔接到转移构件6， 而且是以头35通过供应正在转移构件6内的滚珠丝杠的驱动可正在Y轴对象上 转移。同样正在此情状下，能够采用带驱动机构、线性电动机驱动机构或者其 它驱动机构来替代滚珠丝杠。

　　基板设备部40设备有固定机构10,用于通过从底部对其支柱来固定电 途板9。电途板9由固定机构10来定位。正在此推行例中，两个电途板9以其间预订的间隔设备正在基板设备部40上。然而，要设备的电途板9数目不限 于此。

　　喷嘴坚持个别7由支柱个别18吊挂。喷嘴坚持个别7由内置电动机(未 示出)正在正和负两个对象上可转动。如图1所示，喷嘴坚持个别7的主转动 轴al相关于Z轴对象倾杀牛。

　　喷嘴坚持个别7正在其外圆周个别上比方供应有沿圆周对象礼貌间隔设备 的12个吸附喷嘴8。每个吸附喷嘴8都安置到喷嘴坚持个别7，使得其轴线的主转动轴al倾斜。该倾斜使得吸附喷嘴8的上端 比其下端更挨近于喷嘴坚持个别7的主转动轴al。换言之，总体上，12个 吸附喷嘴8供应到喷嘴坚持个别7以朝着端部加宽。

　　每个吸附喷嘴8都由喷嘴坚持个别7支柱以可正在轴对象上转移，而且当 吸附喷嘴8正在稍后刻画的操作处所定位时，通过按压机构(未示出)向下按 压而降低。该按压机构能够是任何机构，比方凸轮机构、滚珠丝杠机构、螺 线管和气压发朝气构。

　　图1中右端上的吸附喷嘴8的轴线面向Z轴对象，右端上的吸附喷嘴对 应于操作处所。电子部件13由定位正在操作处所而且面向笔直对象的吸附喷 嘴8吸附或者开释。

　　有众品种型的电子部件13要安置正在一个电途板9上，不过不行由简单 类型的吸附喷嘴8吸赞同安置差异类型的电子部件13。对此，供应众品种型 吸附喷嘴8以分袂对应于优选吸附喷嘴8吸赞同安置电子部件13。电子部件 13的实例征求诸如IC芯片、电阻器、电容器和线圈的种种部件。

　　比方，吸附喷嘴8衔接到氛围压缩机(未示出)，而且正在操作处所上定 位的吸附喷嘴8的顶端部以预订的功夫正在正压和负压之间切换。是以，顶端 部吸附或者开释电子部件13。

　　如图2和3所示，由固定机构10定位的电途板9所攻克的区域组成了 部件安置区域M。

　　如图2所示，正在设备正在部件安置区域M操纵两侧上的部件供应设置14 的设备部60上，分隔地供应众个部件供应设置14。该众个部件供应设置14 铺排正在比方X轴对象上。只管关于部件供应设置14比方能够正在每个设备部 60上安置40个部件供应设置14，不过部件供应设置14的数目不限于此。 范例地， 一个部件供应设置14是带供应器，其征求容放众个相像类型电子部件13的传送带。部件供应设置14中的每一个都遵循须要将这些电子部件

　　部件供应设置14容放众种电子部件13，电子部件13的类型关于每个部 件供应设置14而差异。遵循差异电子部件13要安置正在电途板9上的处所， 采用吸附喷嘴8和部件供应设置14以吸附电子部件13。

　　应该留意的是，只管正在该推行例中部件供应设置14的设备部60设备正在 部件安置区域M的操纵两侧上，不过部件供应设置14的设备部60能够仅 供应正在部件安置区域M的左侧和右侧之一上。

　　部件供应口 15设备正在每个部件供应设置14的一个端部。每个部件供应 设置14都安置正在部件供应设置14所对应的一个设备部60上，从而设备部 件供应口 15的端部面临部件安置区域M—侧。吸附喷嘴8经由部件供应口 15来提取电子部件13。如上所述，吸附喷嘴8正在提取电子部件13时的区域 或者此时头35的区域(征求操作处所的区域)设定为部件供应区域S。头 35的吸附喷嘴8正在操作处所正在部件供应区域S、部件安置区域M和衔接区 域S和M的区域内转移。

　　最先，头35转移到部件供应区域S，而且采用设备到喷嘴坚持个别7 的12个吸附喷嘴8顺序吸附给定的电子部件13。然后，头35转移到部件安 装区域M,而且正在调节X和Y轴对象时将吸附喷嘴8吸附的部件正在预订的 处所顺序安置正在电途板9上。头35正在X轴和Y轴对象上的转移由上述的移 动构件6和支柱个别18实施。通过反复云云的操作，将各电子部件13安置 正在电^^板9上。

　　正在该推行例中，供应了两个头35。正在图2中，比方，头35之一可以从 设备正在右手侧的部件供应设置14提取电子部件13,而头35的另一个从设备 正在左手侧的部件供应设置14提取电子部件13。行动采用，也能够云云，头 35之一将电子部件13安置正在图2中供应正在上侧的电途板9上，而头35的另 一个将电子部件13安置正在图2中供应不才侧的电途板9上。

　　图4是显示遵循本发现推行例的振动限定设置的框图，该振动限定设置 操纵于部件安置设置l。

　　框架组织20征求电动机31和41以及衔接到电动机31和41及转移构 件6的滚珠丝杠32和42，电动机和滚珠丝杠征求正在驱动机构30中。正在图4 中，示意性地示出了部件安置设置1，而且传动装备和衔接等(未示出)范例地供应正在电动机31 (41)和滚珠丝杠32 (42)之间。正在图4的刻画中， 基座部2将刻画为相关于绝对坐标系(即惯性体例)是固定的和弗成动的。

　　应该留意的是，为了轻易起睹，不才面的刻画中，衔接到电动机31的 头35将称为头35a,而衔接到电动机41的头35将称为头35b。况且，为了 轻易起睹，转移构件6和头35a将称为头单位45a,而转移构件6和头 35b将称为头单位45b。

　　振动限定设置100征求框架组织20的线,线衡量头单位正在X轴对象上的处所，振动检测器38 用于检测框架组织20基础上正在X轴对象上的振动，而且输出其检测音讯。 振动限定设置100还征求限定器36，给该限定器36输入从振动检测器38 输出的^r测音讯和从线b的处所音讯(头 单位45a和45b的处所音讯)。

　　遵循输入的振动检测音讯和头35a和35b的处所音讯，限定器36实施 预订的操作，而且遵循操作数据限定分袂驱动电动机31和41的电动机驱动 器37和47。是以，乃至正在框架组织20振动时，头35a和35b的处所也通过 电动机31和41的驱动而正在绝对坐标体例中被抵偿。

　　范例地，振动检测器3 8为加快率传感器(acceleration sensor), 但也可 采用地为速率传感器或者位移传感器等。行动加快率传感器，能够采用任何 类型的传感器，比方压敏电阻传感器、压电传感器和电容传感器。当采用加 速率传感器时，振动出现的框架组织20的加快率值输入到限定器36行动检 测音讯，而且限定器36对加快率j直进4亍二次积分(second-order integration) 操作，比方出现位移音讯。行动采用，当振动检测器38是位移传感器时， 振动传感器38输出位移音讯行动检测音讯，然后将其输入到限定器36。换 言之，正在限定器36的一个别和振动检测器38当中，起码振动检测器38构 成输出装备。

　　应该留意的是，遵循本推行例的振动限定设置100仅正在电途板9固定到基座部2(即固定到绝对坐标体例)时须要操纵。

　　当头35a正在图4中的X轴对象上向右转移时，比方，框架组织20正在由 头35a的转移惹起的反效力力下向左转移。以来，框架组织20正在弹性力作 用下弹回。比方，框架组织20是以以20至50Hz的预订频率(该限制不限 于此，而且遵循框架组织20的质地和样式等而改变)振动。正在思量绝对坐 标系(以基座部2为参考的固定的体例)时，由于当头35a正在X轴对象上向 右或者向左转移时框架组织20以上述频率振动，因而头35a正在以上述频率 振动的同时正在X轴对象上向右或者向左转移。其它，当框架组织20振动时， 征求头35b的头单位45b与框架组织20之间的摩擦阻力使得头35b也振动。 遵循本推行例的振动限定设置100制行动吸取头35a和35b云云的振动。

　　振动检测器38检测框架组织20的振动，而且输出其检测音讯(举措 101 )。

　　限定器36被输入有检测音讯。即使检测音讯是加快率值，则限定器36 使加快率值经由二次积分以阴谋位移音讯(举措102)。换言之，位移音讯是 框架组织20的振幅。即使检测音讯是速率值，则仅须要举行一次积分操作， 而且即使检测音讯是位移，则不须要积分操作。

　　行动采用，即使检测音讯是加快率值，则也能够用限定器36通过使加 速率值经由一次积分操作来阴谋速率值。这是由于，即使以预订的周期，即 以每单元功夫阴谋速率值，则限定器36能够出现每单元功夫的位移音讯。

　　当头35a转移时，限定器36从线以预订的周期得回头单位45a (即头35a)的处所音讯。况且，限定器36还从线以预订周期获 得坚持遏制的头35b的处所音讯。正在举措102入彀算位移音讯后，限定器36 限定电动机31和41的驱动，从而分袂从线b的处所音讯以该位移音讯的量举行抵消(举措103 )。

　　范例地，正在阴谋位移音讯后，限定器36采用电动机31的处所音讯和步 骤103入彀算的位移音讯实施力口/减。这对电动机41同样合用。然后，限定 器36输出到电动机驱动器37和47曾经经由加/减的处所音讯，行动驱动电 动机驱动器37和47的音讯。是以，电动机驱动器37和47能够使头35a移 动，同时压迫头35a和35b正在绝对坐标系中的振动。比方，假设头35a向右转移而头35b坚持静止，则当框架组织20正在此 状况下向右(或者向左)振动时，限定器36给电动机驱动器37和47输出 通过从处所音讯减去位移音讯而得回值的音讯(或者通过将位移音讯加到位 置音讯而得回值的音讯)。

　　如上所述，乃至正在框架组织20振动时，头35的处所也遵循框架组织20 的振动惹起的位移音讯获得抵偿。是以，头35的绝对转移处所得以确保， 是以可以告竣头35相关于电途板9的高精度定位。

　　正在此推行例中，由于框架组织20的振动是答允的，因而不须要加强框 架组织20的刚度。

　　其它，当使头35a转移而使头35b坚持静止时，比方，正在滚珠丝杠驱动 的情状下，只须要可轻视的能量来坚持曾经遏制正在绝对坐标系中的头35b的 遏制状况。这是由于，坚持遏制的头35b因为惯性定律试图坚持其处所。正在 此情状下，振动限定设置100只须要下面的3种能量来坚持曾经遏制正在绝对 坐标系中的头35的遏制状况。

　　至此，曾经刻画了当头35a转移而头35b坚持遏制所实施的操作。该原 理也操纵于头35a和35b都转移的情状。头35a和35b都零丁转移时惹起的 框架组织20的振动由叠加两个正弦波得回的波形流露，也便是傅立叶级数 的大局来流露。当加快率传感器用作振动检测器38时，加快率传感器检测 上述叠加的振动，而且限定器36使该振动经由二次积分，似乎地得回位移 音讯。

　　这里，只管当加快率传感器用作振动检测器38时举行二次积分来出现 位移音讯，不过当累积失误变得大时能够举行下面的操作。

　　比方，当加快率传感器的输出值变为等于或者小于阈值时，也便是以典 型的方法基础上为Om/s卩时，限定器36仅须要将框架组织20的位移音讯重 置为0(判断装备，重置装备)。框架组织20的基础振动(fundamental vibration ) 变为正弦波，而且二次积分后的振动变为负正弦波。是以，当加快率为0时 位移也变为0。是以，由于当加快率基础上为0时位移音讯重置为0，因而 能够压迫积分操作中累积失误的出现。当如上的推行例供应众个头35时，框架组织20的振动不可为上述的简

　　时零丁转移众个头35时也没有题目。换言之，为了从通过以傅立叶级数的 大局相加获得加快率A得回位移d,采用(1 = -1^八(*流露相乘)。是以，当A =0时，d最终成为0。

　　图6是显示遵循本发现另 一个推行例的振动限定设置的框图。 该推行例的振动限定设置200与图4所示的振动限定设置100差异，其 区别正在于，当头35a和35b中的起码一个正在X轴对象上转移时，不光框架结 构20振动，况且基座部2也振动。

　　正在该推行例中，第一振动检测器38衔接到框架组织20,而第二振动检 测器28衔接到基座部2。第二振动检测器28范例地与第一振动检测器38 相像，而且比方两个4企测器都能够采用加快率传感器。然而，第一振动检测 器38和第二振动检测器28也能够采用差异类型的传感器。第二振动检测器 28检测基座部2的振动，而且其检测音讯输入到限定器36。 图7是显示图6所示的振动限定设置200的操作流程图。 第一振动检测器38检测框架组织20的振动，而且输出检测音讯(举措 201)。同样，第二振动检测器28检测基底部2的振动，而且输出检测音讯 (举措202 )。举措201和202仅需基础上同步地实施。

　　限定器36输入有来自第一振动检测器38和第二振动检测器28的检测 音讯。遵循来自第一振动检测器38的检测音讯，限定器36阴谋框架组织20 的位移音讯(举措203 )。其它，遵循来自第二振动检测器28的检测音讯， 限定器36阴谋基座部2的位移音讯(举措204 )。限定器36限定电极31和 41的驱动，从而头的处所音讯以两个别阴谋的位移音讯的量举行抵消(举措 205 )。

　　范例地，限定器36最先正在举措205中加上两个别位移音讯。该两个别 位移音讯正在此情状下每一个都取正值或者负值。换言之，框架组织20和基 座部2能够都正在X轴对象上向右或者向左转移，或者相互能够正在相反的对象 上转移。然后，限定器36采用电动机31的处所音讯和加上的位移音讯举行 加/减。这同样也合用于电极41的情状。然后，限定器36输出曾经经由加/ 减的处所音讯到电极驱动器37和47，行动驱动电动^L驱动器37和47的信 息。是以，电动机驱动器37和47能够使头35a和35b中的起码一个转移，

　　不才文，将正在云云的情状下举行刻画，当上述推行例的振动限定设置100 或者200操纵于部件安置设置1时，缩短了头35a和35b的转移功夫，而且 提升了产量，将采用征求正在部件安置设置1中的现实参数(数值)来刻画其 功效。详细地讲，正在一个头35征求比方12个吸附喷嘴8的情状下举行刻画。 (1 )将头35遏制以用于吸附电子部件13并将其安置正在电途板9上的 操作占用的功夫为25毫秒(ms)

　　b. 现有工夫配备有仅一个头35的部件安置设置为20毫秒 连结这些参考功夫所得回的功夫成为出产节奏功夫(tacttime),而且该

　　出产节奏功夫的倒数代外功能。关于项(2)和(3)，由于(2)吸附喷嘴8 的采用和(3)头35的转移能够同时举行，因而项(2)的33毫秒无论转移 间隔众短都是需要的。

　　换言之，当从电子部件13的简单提取处所不断提取众个(比方12个) 电子部件13时，提取电子部件13时头35不须要转移。正在此情状下，当12 个电子部件13以相互逼近的处所安置正在电途板9上时，得回下面的出产节 拍功夫(*代外相乘)。

　　上述出产节奏功夫称为目次出产节奏功夫(catalogue tact time ),而且是 非凡理思的。现实上kb体育官网，出产节奏功夫被项(3)的转移功夫伸长。当仅仅假 定电子部件13的提取和安置都以30毫米的转移实行时，给出下面的阴谋。[现有工夫]

　　2、 正在一个头35的情状下256毫秒/206毫秒=1.24,功能提升24%。 这显示了部件安置设置l的基础功能的改革，而且当流露总体功效时，

　　以提升率乘以所有部件安置设置的本钱能够得回价钱。换言之，本钱为 10,000,000日元的部件安置设置每一项带来约4,200,000日元的功效。

　　图1至3、 4和6曾经刻画了征求两个头35的部件安置设置1。然而， 振动限定设置100和200也能够操纵于仅配备有一个头35的部件安置设置。

　　只管上面的刻画采用了线,不过能够采用转动编码器 (rotary encoder)来取代。

　　其它，振动限定设置100和200不光能够操纵于部件安置设置1，况且 能够操纵于征求框架组织和相关于该框架组织的可转移体的种种设置。该设 备的实例征求诸如曝光设置和用于运载部件和工件的传送设置的任何设置。

　　本发现蕴涵于2008年2月29日提交至日本专利局的日本专利申请JP 的闭连中央，将其通盘实质援用参考于此。

　　1、一种将部件安置正在基板上的部件安置设置，征求驱动单位，征求坚持该部件的头和使该头转移的驱动机构；框架组织，配备有该驱动单位；第一输出装备，用于检测该框架组织的振动，而且输出第一位移音讯，该第一位移音讯为所检测的振动惹起的该框架组织的位移音讯；以及抵偿装备，用于遵循该第一位移音讯抵偿通过该驱动机构转移的该头的处所。

　　2、 遵循权益哀求1所述的部件安置设置，还征求 基座部，用于支柱该框架组织；和第二输出装备，用于检测该基座部的振动，而且输出第二位移音讯，该 第二位移音讯为所检测的振动惹起的该基座部的位移音讯，此中该抵偿装备遵循该第一位移音讯和该第二位移音讯抵偿通过该驱 动机构转移的该头的处所。

　　3、 遵循权益哀求1所述的部件安置设置， 此中供应众个征求正在该驱动单位中的该头， 此中该驱动机构独登时使该众个头中的每一个转移，而且 此中该抵偿装备遵循该第一位移音讯抵偿通过该驱动机构转移的该众个头的每一个的处所。

　　4、 遵循权益哀求1所述的部件安置设置，此中该抵偿装备使该驱动机构举行驱动，从而该头的处所音讯以该第一 位移音讯的量举行抵消。

　　5、 遵循权益哀求2所述的部件安置设置，此中该抵偿装备使该驱动机构举行驱动，从而该头的处所音讯以该第一 位移音讯和该第二位移音讯的量举行抵消。

　　6、 遵循权益哀求1所述的部件安置设置， 此中该第一输出装备征求加快率传感器，用于检测该框架组织的振动的加快率，发作装备，用于通过对该加快率值举行积分来出现该第一位移信白、判断装备，用于判断由该加快率传感器检测的该加快率值是否等于 或者小于阚值，以及重置装备，用于正在该加快率值等于或者小于该阈值时将该第一位移 音讯重置为0。

　　7、 一种振动限定设置，限定由框架组织的振动惹起的转移体的振动，该框架组织支柱该转移体和使该转移体转移的驱动机构，该设置征求输出装备，用于检测该框架组织的振动，而且输出所检测的振动惹起的该框架组织的位移音讯；以及抵偿装备，用于遵循该框架组织的该位移音讯抵偿通过该驱动机构转移的该转移体的处所。

　　8、 一种振动限定技巧，征求检测框架组织的振动，该框架组织支柱转移体和使该转移体转移的驱动 机构；输出所检测的振动惹起的该框架组织的位移音讯；以及 遵循该框架组织的该位移音讯抵偿通过该驱动机构转移的该转移体的 处所。

　　9、 一种振动限定设置，限定由框架组织的振动惹起的转移体的振动， 该框架组织支柱该转移体和使该转移体转移的驱动机构，该设置征求输出个别，检测该框架组织的振动，而且输出所检测的振动惹起的该框 架组织的位移音讯；以及抵偿个别，遵循该框架组织的该位移音讯抵偿通过该驱动机构转移的该 转移体的处所。

　　本发现供应了一种部件安置设置、振动限定设置以及振动限定技巧。该安置设置征求驱动单位、框架组织、第一输出个别和抵偿个别。驱动单位征求坚持部件的头和使头转移的驱动机构。框架组织配备有驱动单位。第一输出个别检测框架组织的振动，而且输出第一位移音讯，该第一位移音讯为所检测的振动惹起的框架组织的位移音讯。抵偿个别通过驱动机构遵循第一位移音讯抵偿转移的头的处所。